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前研發大將林本堅:台積電技術彎道超車英特爾

鉅亨網記者林薏茹 新竹 2021-12-27 17:36

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台積電前研發副總經理、清大半導體研究學院院長林本堅。(鉅亨網記者林薏茹攝)

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 前研發副總經理、清大半導體研究學院院長林本堅今 (27) 日提到,英特爾 2002 年曾組 EUV LLC 聯盟,但台積電無法加入,轉而改採浸潤式微影技術,後來 EUV 量產也領先,反而超車當年成立聯盟的英特爾。

林本堅今日出席清大半導體研究學院揭牌儀式,會後受訪時,提起當年台積電導入浸潤式微影技術的往事。他表示,英特爾 2002 年時與超微、IBM 等企業,一起出資成立 EUV LLC 聯盟,希望共同研發極紫外光 (EUV) 相關設備,導入 60、40 奈米製程使用。

林本堅說,台積電最初也想加入,但最後一個位置被 IBM 搶走,台積電改採浸潤式微影技術,後來 5 奈米製程採 EUV 量產,也領先聯盟中的大廠。且除英特爾外,EUV LLC 聯盟其他成員廠商都沒有再繼續參與聯盟。

清大半導體研究學院與台積電、聯電、力積電及美光等 11 家企業合作,對於英特爾近來大舉進軍晶圓代工領域,也要在台徵求研發人才,林本堅也說,歡迎英特爾加入清大半導體研究學院合作行列。






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