〈半導體展論壇〉台積電何軍：策略材料布局兼顧ESG與效益 半導體業需通力合作

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 先進技術品質暨可靠性副總經理何軍今 (16) 日表示，永續已成為半導體產業重要發展目標之一，台積電推進製程技術，同時兼顧永續目標，台灣要能在策略材料布局上兼顧 ESG 與效益，整個半導體產業通力合作至關重要。

SEMI(國際半導體產業協會) 今日在 SEMICON 「策略材料高峰論壇」開展前夕，在臉書上以「台積電如何兼顧永續目標及先進製程材料？」為題進行直播。

對於台積電如何持續推進先進製程，同時達到永續目標，何軍表示，半導體是資本與資源非常密集的產業，永續已成為重要發展目標之一，隨著先進製程技術不斷演進，審視摩爾定律的重點也改變，從追求純性能及晶片密度，到以提升效能與系統整合為主。

何軍說，台積電一路上與夥伴及創新材料廠商並肩而行，推進製程技術，兼顧永續目標，同時達到符合世界需求的高性能半導體產品，一起改善材料供應商良率；畢竟不管經濟或技術面挑戰，最終還是回歸良率，材料要符合半導體製程需求，也能回收再利用，同時讓良率提升。 

何軍認為，台積電在全球擴展、擴大產品規模的同時，如何兼顧環境議題，是目前看到的挑戰，擴展性能需要許多創新技術，而回收再生是其中之一。

也因此，台積電持續回收材料為己用，後來乾脆打造先進分析實驗室，來服務整個產業，何軍也引用俗語表示，「上帝關了一扇門的同時，也開了一扇窗」，ESG 為產業界打開很多機會之窗，促使彼此合作。

何軍舉例，在清洗晶圓的化學品 IPA(異丙醇) 方面，已與部分供應商合作，回收大量 IPA 自用，良率高達 8 成。

對於策略材料如何兼顧 ESG 與效益，何軍則說，成本管控一直是個問題，關鍵在如何與供應商合作，但若涵蓋廠房營運、廢棄物管理等各種成本來看，其實是讓整體成本更低，解決技術問題的同時，也符合環境需求，兼顧成本考量。