SK海力士利用EUV科技展開1a奈米DRAM量產

據《韓聯社》12 日 (週一) 報導，全球第二大的記憶體製造商南韓 SK 海力士 (000660-KR) 在 12 日宣布，該公司已正式使用 10 奈米 (1a) 製程來展開 DRAM 量產。

SK 海力士表示該公司的 8GB 容量 LPDDR4 行動裝置用 DRAM，運用了極紫外光 (EUV) 微影技術、採用 1a 奈米製程來進行生產。

在 DRAM 的 10 奈米製程方面，SK 海力士已從以往的 1x、1y 及 1z，一路發展到目前第四代的「1a」(1-alpha)。

SK 海力士計畫在 2021 年的下半年，就會把最新的行動裝置用 DRAM、供貨給智慧型手機製造商。

這是 SK 海力士首度使用極紫外光 (EUV) 設備來進行 DRAM 量產，以往該公司在採 1y 奈米製程的 DRAM 生產時、只有局部採用極紫外光設備。

SK 海力士正計畫在所有 1a 奈米的 DRAM 生產、都將全面導入極紫外光科技，他們認為如此一來可確保製造上的穩定。該公司預料全新製程將可提高生產力，估計最新的 1a 奈米製程與上一代 1z 奈米製程相比，在相同尺吋的晶圓上頭、可多獲得 25% 的 DRAM 晶片。

據該公司說法，全新 DRAM 產品的傳輸速度可支援到 4266Mbps，這也是標準 LPDDR4 行動裝置用 DRAM 規格中的最快傳輸速率，而且功耗也改善了 20%。

SK 海力士也提到，他們計畫在 2022 年初時、將利用 1a 奈米製程來生產 DDR5 產品。DDR5 是新一代的 DRAM 產品，於 2020 年 10 月問世。