台積電打造物聯網智慧節能系統 目標每年節能效益5.2億元

台積電將「iSystem物聯網智慧節能控制系統」導入非生產區的真空幫浦。(圖:取材自台積電官網)
台積電將「iSystem物聯網智慧節能控制系統」導入非生產區的真空幫浦。(圖:取材自台積電官網)

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 致力實踐綠色製造,繼開發世界級半導體綠色機台後,攜手應材與附屬設備供應商,針對非生產區附屬設備打造「iSystem 物聯網智慧節能控制系統」,達成年度省電 1340 萬度、減少 1.38 萬噸碳排放量,創造新台幣 8500 萬元的節能效益,目標未來幾年每年創造 5.2 億元的節能效益。

台積電表示,該物聯網智慧節能控制系統已導入晶圓十五 B 廠 80 種製程、588 台生產機台所屬的 2351 台真空幫浦、805 台現址式尾氣處理系統。

台積電指出,半導體晶圓製造過程中會使用不同製程氣體,一般位於非生產區的附屬設備皆以固定全載方式運轉,為提高能源使用效率,2015 年攜手供應商開發及導入「iSystem 物聯網智慧節能控制系統」,將其做為生產機台與附屬設備間的對接橋樑,即時對附屬設備下達對應指令,使其可依生產機台使用的製程氣體,同步自動調變運轉參數與能耗,以達成節能效果。

除節能模式,台積電與供應商依照半導體協會標準,進一步開發附屬設備的睡眠模式與休息模式,當生產機台於較長時間未運轉時,可節省更多能耗。

為更系統化落實節能行動並確保成效,台積電去年也將「ISO 50001 能源管理系統」導入 iSystem。

為更擴大節能效益與使用範圍,台積電也尋求與其他半導體設備供應商合作,所有製程及生產機台的附屬設備皆計畫導入智慧節能機制,目前除了晶圓十五 B 廠持續進行應用開發與建置外,晶圓十八廠也於今年開始導入,並將逐步推展至台灣廠區所有十二吋晶圓廠。

台積電預計,未來每年可省電 8200 萬度、減少 8.46 萬噸碳排放量,創造新台幣 5.2 億元的節能效益,持續朝碳中和與淨零碳排放的永續目標邁進。
 


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