台積電開發全球首創晶圓倉儲自動化搬運系統 5奈米廠率先啟用

台積電14B廠也將陸續導入晶圓倉儲自動化搬運系統。(圖:取材自台積電官網)
台積電14B廠也將陸續導入晶圓倉儲自動化搬運系統。(圖:取材自台積電官網)

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 捍衛職場工作安全,成功開發全球首創「晶圓倉儲自動化搬運系統」,已於第 1 季於晶圓 18A 廠、也就是 5 奈米廠率先啟用,有效降低庫房員工每人每日 95% 搬運量,預計將於 2021 年底前,陸續導入台灣廠區的 12 吋超大晶圓廠。

台積電製造所需的原物料晶圓,每日由供應商配送至各廠區收貨碼頭,再由台積庫房員工將盒裝晶圓取出、放上輸送帶,分派至無塵室生產。台積從 2018 年起,由資材供應鏈管理處攜手風險管理、智能製造中心、製造材料品質可靠性部及新廠規畫部,合力啟動「人因工程—晶圓倉儲自動化」改善計畫,21 個月內成功完成晶圓倉儲自動化搬運系統建置。

台積電晶圓倉儲自動化搬運系統,以最新啟用的晶圓 18A 廠為導入起點,透過輸送帶、自動導引運輸車與機器手臂的建置,今年第一次即減省 95% 非技術性人力負荷,每位庫房員工每日減少 1.8 公噸搬運量。

考量系統占地面積、各晶圓廠收貨碼頭腹地空間,及各廠區每日貨物吞吐量,晶圓 12B 廠、晶圓 14A/B 廠及晶圓 15A/B 廠,也將於 2021 年底前,陸續導入晶圓倉儲自動化搬運系統,而目前興建中的晶圓 18B 廠,也將同步建置晶圓倉儲自動化搬運系統。

台積電晶圓倉儲自動化搬運系統,是全球首座半導體晶圓收貨上架的自動化系統。因應系統導入,資材供應鏈管理處也提出環境友善行動,同步展開各晶圓供應商的包材規格標準化作業,取代一次性包材使用。

台積電透過參與系統開發的各組織,與供應商共同合作,成功開發業界第一套可重覆穩定應用於自動化系統的標準化包材,每年成功減少 1717 公噸紙箱、288 公噸保麗龍盒使用,相當於減少 2410 公噸碳足跡、1345 公噸水足跡,同時節能 110 萬度。


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