SK Materials展開高純度氟化氫生產 脫離日本掌控再進一步

SK Materials展開高純度氟化氫生產 脫離日本掌控再進一步 (圖片:AFP)
SK Materials展開高純度氟化氫生產 脫離日本掌控再進一步 (圖片:AFP)

南韓 SK Materials 在週三 (17 日) 表示,該公司已於近期開始了高純度 (99.999%) 氟化氫 (蝕刻氣體) 量產。由於純度已達到一定程度,三星電子及 SK 海力士也都導入使用。

根據《日本經濟新聞》17 日報導,SK Materials 的 99.999%(5N) 高純度氟化氫,雖然在純度上遜於日本產的 99.999999999%(11N) 超高純度氟化氫,但是已被用於晶圓清洗等部分製程。

高純度氟化氫被用於半導體的清洗用途,也由於半導體製程的微細化,需求量也跟著快速增加。

SK Materials 在去年 11 月時,成立了相關材料的研發中心。在研發過程中成功的試作出高純度氟化氫,也在南韓慶尚北道的榮州工廠,設置了年產量 15 公噸規模的生產設備,逐步的朝著國產化目標邁進。計畫在 2023 年前,國產化的比率要拉高到 70%。

南韓半導體業,100% 依賴日本等國所生產的高純度氟化氫。不過就在去年 7 月的時候,日本針對出口到南韓的高純度氟化氫、氟化聚醯亞胺,以及光阻劑等 3 種先進化學品,實施了嚴格的出口管制。這也使得日本在出口這些化學原料時,必須一一接受當局審核才得以放行。

也由於這幾種化學原料,是 OLED 面板及半導體生產所不可或缺的,嚴重關係到南韓電子業的未來發展。南韓也立即展開動作,一方面尋找日本之外的供貨來源,另一方面也在政府支援下積極的推動國產化。

而南韓的 Soulbrain,也展開了純度 99.999% 以上的液態氟化氫生產。


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