〈台積技術論壇〉南科3奈米廠興建中 2奈米製程確定落腳新竹

台積電 (2330-TW) 今 (25) 日舉行技術論壇，營運資深副總經理秦永沛表示，南科晶圓 18 廠的 3 奈米製程生產基地，正在興建中，新竹廠區 2 奈米及更先進技術的研發中心，也已開始興建，預計 2021 年完工，至於生產基地正取得土地中。

秦永沛指出，台積電每年投資超過百億美元，持續擴充產能，以滿足客戶需求，所提供的產能居全球龍頭，並大幅超越第 2 名公司的 3 倍以上；先進製程產能從 2016 年至 2020 年，以年複合成長率達 28% 的速度成長。

台積電 2018 年領先全球導入 7 奈米製程量產，秦永沛表示，由於客戶需求非常強烈，因此快速提升 7 奈米產能，回應客戶需求，以今年產能與 2018 年量產時相較，將大幅成長超過 3.5 倍。

台積電 5 奈米大量採用 EUV 製程，今年進入量產，秦永沛指出，預計 2022 年時，5 奈米產能將較今年大幅成長超過 3 倍；南科晶圓 18 廠第一、二、三期為 5 奈米生產基地，第一、二期已量產，第三期已開始裝機。

秦永沛也說，5 奈米技術困難度與量產挑戰，遠大於以往其他世代製程，但 D0 值 (平均缺陷密度) 改善進度非常好，優於前一代的 7 奈米同時期 D0 值表現，目前 5 奈米 D0 已近 0.1 水準，其 D0 值的改善，與廣泛採用 EUV 有非常強烈的關係。

若從 EUV 量產角度來看，秦永沛指出，台積電 EUV 機台裝設數量約占全球的 5 成，EUV 晶圓移動 (wafer move) 占全球比重超過 60%，有越多的晶圓移動，代表累積更多學習與經驗，也是 EUV 能否成功量產的重要指標之一。

而未來 3 奈米製程生產基地，將在南科的晶圓 18 廠第四、五、六期，目前正在興建中；而新竹廠區研發中心也已開始興建，預計 2021 年完工，作為未來 2 奈米與更先進技術的研發基地，至於 2 奈米生產基地，目前正在取得土地中。

在特殊製程技術方面，秦永沛表示，台積電特殊製程產能占總產能比重逐年上升，預計今年將從 2015 年的 38%，大幅成長至 54%。晶圓 14 廠第八期將作為特殊製程生產基地，晶圓 14 廠第七期附近、正在興建的 AP2C，將是未來先進封裝生產基地。