科林研發推晶圓製造協作機器人 獲三星採用

科林研發 (Lam Research)(LRCX-US) 今 (13) 日宣布推出 Dextro 半導體業界首款協作機器人 (cobot)，旨在優化晶圓製造設備的關鍵維護任務，現已部署至全球多個先進晶圓廠中，可實現準確、高精度的維護保養，以最大限度地減少設備停機時間和生產變異，驅動一步到位(FTR) 的成果提高良率，目前已獲三星採用。

三星電子副總裁兼記憶體蝕刻技術團隊負責人 Young Ju Kim 表示，當製造設備需要維護保養時，必須迅速有效地完成工作，以避免延長設備停機時間和浪費成本。Dextro 正確無誤的維護保養能力有助於改善生產變異和良率。

科林研發指出，現今的晶圓製造設備利用先進的物理學、機器人技術和化學來製造奈米級半導體，典型的晶圓廠內通常有數百種製程設備，每一種都需要定期進行複雜的維護保養。Dextro 旨在改善次微米級精度的設備維護重複性，以期提高設備的成本效益。

科林研發客戶服務事業群副總裁 Chris Carter 表示，Dextro 的推出是半導體製造設備維護保養領域裡一次激勵人心的技術大躍進，它能與晶圓廠工程師協同合作，以超越人類工作能力的精確度和重複性，執行複雜的維護任務，實現更長的設備正常運行時間和更高的生產良率。Dextro 是科林研發廣泛的設備和服務組合中強而有力的生力軍，可協助晶片製造商優化其晶圓廠的成本和生產力。

科林研發認為，隨著晶圓廠規模、地域多元化和設備複雜性不斷增加，晶圓製造商需要透過提高自動化程度和效率來優化其晶圓廠工程師的效能。尤其，當全球半導體職缺的需求數量持續超過業界培養熟練工程師的供給數量，這一點將變得更加重要。

精確性在設備維護保養中至關重要，其中子系統的準確重新組裝更是關鍵。實現 FTR 可節省時間和成本。重複性的維護保養還可以減少耗材、勞動力和生產停機時間的相關浪費，從而減少生產變異並提高生產良率。

Dextro 是一種帶有機械手臂的行動裝置，可由晶圓廠的技術人員或工程師進行操控。它使用各種末端執行器作為手部來處理關鍵設備維護任務，而這些任務在手動進行時，非常耗時且容易出錯。例如：它能夠以超過人類手動兩倍以上的精度，精確地安裝和壓緊部件。精確組裝有助於控制晶圓邊緣的蝕刻表現，從而提高良率。

Dextro 緊固真空密封的高精度螺栓至精確規格，減輕了晶圓廠工程師的重複性任務，這項工作在手動操作時，錯誤率高達 5%。準確地滿足規格可消除使設備停止生產並影響晶片良率的腔室溫度偏差。

Dextro 也使用自動化清潔技術，在不需要拆卸下腔室的情況下，Dextro 可清除腔室內側壁堆積的聚合物。重要的是，對於需要配戴重型防護性呼吸設備來手動執行任務的人類來說，它可以較低的風險完成任務。

科林研發的 Flex G 和 H 系列的介電質蝕刻設備目前支援 Dextro，預計 2025 年後將擴大應用於其他設備。

TECHnalysis Research 總裁 Bob O"Donnell 表示，隨著 AI 為半導體市場帶來巨幅成長的需求，晶片製造商必須盡可能地確保所有製造設備的高效運作，以最大限度地減少停機時間。Dextro 可以協助晶片製造設備以自動化的方式處理繁瑣、耗時且通常複雜的清潔和維護任務，以最大化地提高製造產量。對於選擇部署此產品的公司來說，將擁有極大的好處。

Dextro 為科林研發的智慧解決方案產品組合一員，可提高半導體晶圓廠的效率並降低營運成本。該解決方案包括具有自主校準和自適應維護的 Lam Equipment Intelligence® 製程設備，以及使用大數據、機器學習、人工智慧和科林研發的產業知識來實現更好生產力成果的 Equipment Intelligence 服務。