〈台積技術論壇〉2023年5奈米產能將較去年大增逾4倍 2奈米廠正取得土地

台積電晶圓14B廠。(圖:取材自台積電官網)
台積電晶圓14B廠。(圖:取材自台積電官網)

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 營運組織資深副總經理秦永沛今 (2) 日表示,2023 年 5 奈米產能與 2020 年相較,將大增逾 4 倍;而為提高 3 奈米與 2 奈米開發與生產效率,原先計畫的研發中心將改為晶圓十二廠第八期、第九期,其中第八期將於今年完成,也計劃建造 2 奈米製程晶圓廠,正進行土地取得程序。

台積電今日舉辦 2021 年技術論壇,秦永沛指出,台積電承諾持續投資產能,以支援全球客戶需求,迅速提升 7 奈米、7 奈米強化版與 6 奈米產能,今年 7 奈米系列產能與 2018 年相比,將會大幅成長超過 4 倍,而 2023 年 5 奈米產能與 2020 年相較,同樣將大幅成長逾 4 倍;2018 年至 2021 年,先進製程技術產能增加 3 成以上。

秦永沛表示,5 奈米製程 D0 值 (平均缺陷密度) 比 7 奈米同期的表現還好,已低於 0.1,廣泛採用 EUV 是其中一項重要因素,而 4 奈米初期 D0 值表現也相當不錯,預期 2022 年會跟 5 奈米一樣好。

秦永沛指出,去年台積電裝設的 EUV 機台設備,約占全球 EUV 技術產能的一半,占全球累計晶圓數量的 65%,且今年台積電的 EUV 光罩護膜產能將是 2019 年的 20 倍,以滿足大量量產需求。

特殊製程技術方面,秦永沛說明,台積電特殊製程包括電源管理、混合訊號、感測器、指紋辨識等,產能將年增 12%。

晶圓廠區規劃方面,秦永沛指出,位於台南廠區的晶圓十八廠,前三期廠房已量產 5 奈米製程,第四期正在施工中,十八廠第五到八期是 3 奈米生產基地,正準備中;晶圓十四廠第八期將是未來特殊製程生產基地,先進封裝生產基地也在興建中。

新竹廠區部分,秦永沛表示,為提高 3 奈米與 2 奈米開發與生產效率,原先計畫的研發中心將改為晶圓十二廠第八期、第九期,其中第八期正在興建中,將於今年完成,也計劃建造一座生產 2 奈米製程的新晶圓廠,目前正進行土地取得程序。

至於美國亞利桑那州廠,秦永沛指出,該廠區位於鳳凰城機場的北邊,第一期正興建中,預計 2024 年採 5 奈米製程量產,月產能 2 萬片。
 


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