富士軟片投入EUV光阻劑市場 目標2024年市占10%

富士軟片投入EUV光阻劑市場 目標2024年市占10% (圖片:AFP)
富士軟片投入EUV光阻劑市場 目標2024年市占10% (圖片:AFP)

根據《日刊工業新聞》週二 (5 日) 報導,日本富士軟片已正式啟動 EUV 光阻劑業務,目標在 2024 年之前獲得全球的 10% 市占。

富士軟片在生產據點導入高準確度的品質檢查設備等,目前已經展開樣品出貨,計畫最快在 2021 年的前半開始量產。由於 AI 人工智慧、IoT 物聯網以及 5G 通訊的普及,半導體製程也朝著細微化進展。此外,應用 EUV 的光刻技術,也預估需求量將有所增長。

富士軟片子公司、從事半導體材料業務的富士電子材料公司 (FFEM),在日本靜岡工廠全新投資約 15 億日圓,安裝了最先進 EUV 製程用途的半導體材料品質評估設備。期盼藉著最先進檢查設備的導入,來提升品質並確保供貨穩定,要與競爭對手的產品作出區隔,盼能獲得廠商採用。

富士電子材料公司為了研發生產 EUV 光阻劑,包含這回導入的檢查設備在內,一共投資了 45 億日圓。該公司生產 ArF 光阻劑的經驗,也有助於新產品的研發生產。而在目前,日本生產 EUV 光阻劑的廠商,有著名的信越化學工業等公司。

富士軟片位在美國的據點,有進行化學機械研磨液 (CMP Slurry) 的研發生產。為了提升顯影液純度,該公司也從 2018 年 12 月起的三年時間,進行 100 億日圓的投資,要強化半導體材料的競爭力。而在疫情影響下,遠距工作的普及等,都使得半導體材料需求看旺。


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