台積電興建全台首座民營再生水廠 2023年每日供給2萬噸再生水

台積電晶圓14廠第五期再生水系統。(圖:取材自台積電企業社會責任官網)
台積電晶圓14廠第五期再生水系統。(圖:取材自台積電企業社會責任官網)

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 從 2016 年起積極發展再生水技術,今年進一步與南科管理局簽約,設立「台積電南科再生水廠」,也是全台首座民營再生水廠,預計 2021 年導入工業再生水做為晶圓製程用水,初期規劃每日供給再生水約 0.5 萬噸,2023 年則可增加至每日 2 萬噸再生水。

台積電表示,今年與南部科學園區管理局簽約,促建「台積電南科再生水廠」,預計 2021 年啟動園區工業廢水再生工程,導入工業再生水,做為台積電晶圓製程用水,初期規劃每日可供給再生水約 0.5 萬噸,2022 年達 1 萬噸,2023 年則可增加至每日 2 萬噸再生水。

除回收工業廢水,民生汙水再生方面,內政部營建署、經濟部水利署、台南市政府水利局,已於 2017 年合作籌畫與興建永康再生水廠及安平再生水廠。台積電除提供政府再生水製程相關專業意見與推行經驗,也積極表達採購再生水意願,台積電預計,2024 年每日將購買永康及安平兩處再生水廠所生產的再生水共 4.7 萬噸。

秉持拓展多元水資源策略,台積電 2016 年起積極發展再生水技術,成功降低廠內廢水水質相關因子,目前自產所得的再生水,不只達到半導體製程用水標準,排放水也符合法規放流規定,締創國內再生水發展的重要里程碑。

台積電積極實踐綠色製造,持續透過「開源」與「節流」並行的方針,強化用水效率,並使用工業廢水與民生污水再生水,降低自來水用水量,也提供再生水相關經驗與技術,使再生水符合半導體製程對水質要求的高標準,盼能藉此承諾拋磚引玉,帶動產業界對再生水的使用意願,加速再生水相關技術與產業發展。


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