〈家登英特格爭訟〉幕後解讀 英特格此舉欲衝擊家登EUV市場地位

晶圓載具廠家登 (3680-TW) 遭美商英特格 (Entegris. Inc) 提起侵害專利訴訟，經台灣智財法院一審判決，家登須賠償英特格約新台幣 9.7887 億元。業界人士認為，英特格為打擊家登在 EUV 晶圓傳送盒的市場地位，因此發起侵權官司，藉此干擾家登營運，若未有此次訴訟影響，家登今年營收、獲利可望相當可觀。

英特格曾於 2007 年間曾以收購為由，到家登進行實地查核 (DD)，未料雙方未能成功聯姻，當時，英特格時任執行長曾於 2008 年 4 月致信家登，以書面承諾表示，會將家登交付的資料保密，並返還或銷毀，然而，時隔約 3、4 個月後，家登董事之一便遭挖角至英特格擔任技術長，而英特格當時所取得的家登產品照片等資料，成為此案訴訟過程中的訴訟證據。

當時未能成功收購家登，便為雙方間的競爭關係埋下伏筆。家登目前在全球市占率高達 5 成，除 12 吋晶圓傳送盒外，在下一波將帶來可觀成長的 EUV(極紫外光微影) 技術商機中，家登搭配的晶圓傳送盒獲半導體設備大廠 ASML 認證，加速進入 EUV 先進製程，也陸續開始出貨台積電、英特爾等大廠。

由於 EUV 晶圓傳送盒技術門檻較高，需通過嚴格認證，家登過去投入逾 9 年長期研發，自去年起開始享受甜美果實。目前全球僅 2 家業者可供應 EUV 晶圓傳送盒，分別是英特格與家登，而家登在 EUV 晶圓傳送盒市場市占率，更是高達 9 成。

業界人士指出，英特格當年未能成功收購家登，眼看家登在晶圓傳送盒的市佔率擴增，尤其是在 EUV 晶圓傳送盒市場中，具備相當規模，使英特格備感威脅，因此英特格盼可以高額賠償金與專利訴訟，干擾家登營運與布局。

隨著台積電等大廠的 EUV 技術進入量產，晶圓傳送盒需求大增，加上該產品單價與毛利表現較佳。業界人士認為，家登今年是迎接 EUV 晶圓傳送盒出貨大爆發的一年，若未有此次英特格侵權訴訟影響，家登今年營收、獲利，將會相當可觀。