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德國德累斯頓, 2013年10月8日 /美通社-PR Newswire/ -- 致力於提供先進晶圓加工解決方案的公司 SPTS 科技 (SPTS Technologies) 和全球領先的納電子研究中心 IMEC（歐洲跨校際微電子研究中心）宣佈達成合作，雙方將透過利用 SPTS 的 Rapier 深矽反應離子刻蝕 (Si DRIE) 技術，進一步推動生醫微機電 (BioMEMS) 的微納元件發展。
微納技術目前迅速成為支援醫療研究、診斷和治療發展的重要因素，並在 DNA 測序和分子診斷等領域迅速發展。作為該領域的一位開拓者，IMEC 正在開發作為以上生命科學工具發展的支柱的基本異構技術和元件。
深矽刻蝕技術是生醫微機電製造工藝中最重要的一項加工技術，它能被用於製造微流頻道、聚合酶鏈反應 (PCR) 室、混合器和篩檢程式等設備。作為先進微納電子研究領域的領先機構，IMEC 目前正在為快速檢測人類 DNA 單核苷酸多態性開發晶片實驗室技術，並為人類血液中的迴圈腫瘤細胞開發微尺寸檢測系統。這類研究成果將轉變成為改善當前及未來人類生活品質的產品。
IMEC 新組件整合團隊負責人 Deniz Sabuncuoglu Tezcan 表示：「在我們選擇 SPTS 作為合作夥伴之前，我們在他們的工具上進行了多項晶圓展示，在我們目前專案所需的高要求架構上向其工具發起挑戰。結果讓我們相信，Rapier 組件能夠説明我們創造我們所設想的設備。展示還表明，流程將帶來實現經濟量產所需的高輸送量和可重複性。」
訊息來源 SPTS 科技
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