蔚華科攜手南方科技 搶攻SiC基板檢測商機
鉅亨網記者林薏茹 台北 2023-11-28 16:58
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半導體測試解決方案廠蔚華科 (3055-TW) 今 (28) 日攜手旗下數位光學品牌南方科技,共同推出 JadeSiC-NK 非破壞性缺陷檢測系統,搶攻化合物半導體商機,目前已有 8-10 家潛在客戶測試中,董事長秦家騏看好將「全壘打」,未來也會與南方科技共同加速矽光子等先進光學檢測技術商業化。
秦家騏透露,目前潛在客戶包括台灣、中國、歐洲等,美國很快也會加入,目標今年拿下訂單,看好將是很有機會成功、會全壘打的產品應用。
蔚華科總經理楊燿州表示,近幾年大環境改變,考量經銷代理業務的不確定性,並追求更好的獲利結構,將發展重心轉往自有產品開發,並透過併購南方科技,跨足光學檢測領域,第一步鎖定化合物半導體材料缺陷檢測,隨著 SiC 基板需求大增,未來幾年業績與獲利可望顯著提升。
楊燿州指出,除將非線性光學技術應用在 JadeSiC-NK 外,未來也將加速南方科技在 MicroLED、超穎材料、矽光子等先進光學檢測技術的商業化,持續整合集團資源、擴大研發能量。
化合物半導體基板材料品質決定下游晶片的可靠度及性能優劣,但 SiC 長晶速度較慢,且基板晶體缺陷只能以破壞性的 KOH 蝕刻方式抽樣檢測,使 SiC 晶片成本居高不下。
JadeSiC-NK 非破壞性缺陷檢測系統採先進非線性光學技術,對碳化矽 (SiC) 基板進行全片掃描,找出基板內部的致命性晶體缺陷,以取代現行高成本的破壞性 KOH(氫氧化鉀) 蝕刻檢測方式,可提升產量並有助改善製程。
南方科技總經理王嘉業表示,以每個長晶爐月產 4 個 SiC 晶錠為例,採 JadeSiC-NK 後,每個晶錠可省下 2 片基板成本,以每片 6 吋基板 800 美元計價,一個長晶爐每年估可省下新台幣 250 萬元因蝕刻而損耗的成本。
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