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〈台積電ESG〉攜手供應商以磷肥廢料替代螢石 打造綠色氫氟酸

鉅亨網記者林薏茹 台北 2023-02-24 16:34

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台積電攜手供應商以磷肥廢料替代螢石 打造綠色氫氟酸。(圖:取材自台積電ESG官網)

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW)(TSM-US) 因應原物料需求隨著產能增加持續成長,為確保製程關鍵材料氫氟酸穩定供應,並友善環境,攜手供應商以磷肥廢料替代螢石,在不影響原有製程品質的前提下成功產製氫氟酸,導入 12 吋晶圓廠區,預計全面導入後一年可減碳逾 2 萬公噸。

截至 2 月,相關技術已導入晶圓十二 A 廠、晶圓十五 A 廠,減少螢石用量、減碳 317 公噸,其他十二吋晶圓廠區亦同步進行試產,預計全面導入後一年可減碳逾 2 萬公噸,相當於 58 座大安森林公園 1 年的二氧化碳吸附量,持續創造資源循環價值。

氫氟酸是半導體濕式蝕刻製程的重要化學品,一般以螢石為原料,因取得不易且精煉程序繁複,產製過程較難降低碳排放量。

台積電 2021 年起與供應商合作,投入氫氟酸替代原料可行性研究,利用磷肥產製過程衍生的廢料─氟矽酸搭配硫酸進行化學反應後產製氫氟酸,且為使品質符合半導體製程標準,除輔導供應商提前於進料階段即提供品質保證證明外,同時協助其開發獨立產線進行測試,經反覆調整以達製程最適化。

台積電積極輔導供應商擴大使用磷肥廢料產製氫氟酸,預計明年底完成第二條獨立產線後,可再降低螢石用量,總計減碳逾 4 萬公噸。

除精進原料品質,台積電也持續尋求永續使用的改善機會點,由品質暨可靠性組織持續與各廠合作,進行電子級硫酸及電子級異丙醇內循環再利用、氫氟酸氣體廢料再製氟氣的評估,同時輔導供應商開發相關技術,朝資源永續再生的目標邁進。
 

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