〈台積社會責任〉推先進製程綠色機台行動 目標2030年省電11億度

隨著半導體製程快速演進，台積電 (2330-TW)(TSM-US) 積極提升能資源使用效率，推動先進製程機台綠色行動，目標 2030 年節水 2800 萬噸、省電 11.3 億度。

台積電除攜手供應商開發晶圓傳送盒清洗機台節水控制系統，也進一步透過「機台參數設定優化」、「新技術綜效整合」二大策略，持續挖掘先進製程機台節水省電機會點。

截至 2 月，台積電已成功將 6 項行動方案，導入台灣廠區十二吋超大晶圓廠的控片清洗機台及新機台，有效節省純水 1047 萬噸、省電 1 億 1190 萬度。

面對先進製程日益複雜，為創造更多永續行動，去年台積電智能工程中心成立跨組織團隊，全面盤點先進製程機台用水量，發現濕式製程機台用水占總用量 70% 以上；因此進一步深入分析機台模組源頭使用與終端排放情形，透過二大策略，規畫 6 項節水省電行動方案。

台積電將持續擴大節水省電行動方案應用範圍，預計第二季陸續導入台灣廠區十二吋超大晶圓廠的生產機台，同時將二大策略列入先進製程機台採購標準規格，於新機台引進前即完成對應的設計驗證與元件安裝。