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東聯高純度二氧化碳 可望首度打入晶圓代工大廠先進製程供應鏈

鉅亨網記者林薏茹 台北 2022-02-09 11:29

隨著半導體往先進製程推進,對化學品的精度要求與需求量也更大,東聯 (1710-TW) 回收 EG(乙二醇) 製程中產生的二氧化碳,產製高純度二氧化碳,純度等級達 99.9999%,可供應 5 奈米、3 奈米等先進製程需求,可望打入晶圓代工大廠供應鏈,下半年開始量產出貨。

東聯主力產品為 EG,由於 EG 生產過程中會產生二氧化碳,東聯超前部署碳中和趨勢,在生產 EG 的同時,也進行二氧化碳回收,目前回收率已達 8 成。

不過,半導體製程對二氧化碳的純度、品質要求比化工產業更高,過去國內晶圓代工廠對二氧化碳的純度要求約 99.999%,供應商多為小型氣體廠,但隨著半導體朝更先進製程推進,對二氧化碳純度的要求也進一步提升至「6 個 9」、即 99.9999%。

東聯透過自身碳捕捉循環再利用製程,產製高純度二氧化碳,以搶進半導體先進製程化學品市場。

東聯表示,所生產的高純度二氧化碳,符合 5 奈米、3 奈米等先進製程需求,加上先進製程對相關二氧化碳需求量大,公司已在建置新產線,初期規劃月產能 1000 噸,目前正與台積電洽談中,持續進行製程改善,下半年可望順利出貨。






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