東聯高純度二氧化碳 可望首度打入晶圓代工大廠先進製程供應鏈

隨著半導體往先進製程推進，對化學品的精度要求與需求量也更大，東聯 (1710-TW) 回收 EG(乙二醇) 製程中產生的二氧化碳，產製高純度二氧化碳，純度等級達 99.9999%，可供應 5 奈米、3 奈米等先進製程需求，可望打入晶圓代工大廠供應鏈，下半年開始量產出貨。

東聯主力產品為 EG，由於 EG 生產過程中會產生二氧化碳，東聯超前部署碳中和趨勢，在生產 EG 的同時，也進行二氧化碳回收，目前回收率已達 8 成。

不過，半導體製程對二氧化碳的純度、品質要求比化工產業更高，過去國內晶圓代工廠對二氧化碳的純度要求約 99.999%，供應商多為小型氣體廠，但隨著半導體朝更先進製程推進，對二氧化碳純度的要求也進一步提升至「6 個 9」、即 99.9999%。

東聯透過自身碳捕捉循環再利用製程，產製高純度二氧化碳，以搶進半導體先進製程化學品市場。

東聯表示，所生產的高純度二氧化碳，符合 5 奈米、3 奈米等先進製程需求，加上先進製程對相關二氧化碳需求量大，公司已在建置新產線，初期規劃月產能 1000 噸，目前正與台積電洽談中，持續進行製程改善，下半年可望順利出貨。