〈台積社會責任〉導入低耗能管路加熱系統 2025年起每年再省8000萬度電

台積電導入低耗能管路加熱系統 2025年起每年再省8000萬度電。(圖:取材自台積電官網)
台積電導入低耗能管路加熱系統 2025年起每年再省8000萬度電。(圖:取材自台積電官網)

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 今年領先業界將「低耗能管路加熱系統」導入先進製程,目前已導入晶圓十五廠第 7 期廠區,預計 2025 年進一步導入台灣全數 12 吋晶圓廠及晶圓十八 B 廠的 3 奈米與 2 奈米製程,每年將節省 8000 萬度電。

台積電指出,供應晶圓生產機台的氣體管路,以往為避免管線內部形成結晶、造成堵塞,必須在機台運作期間,對管路外部的加熱設備不斷供電,以維持管路表面高溫,確保管線通暢。傳統套件僅著重於管線的加熱功能,而忽略表面材質的保溫表現,導致熱能易失而造成電力浪費。

台積電節能減碳委員會引領的節能團隊,攜手供應商利用「降低熱損失」的概念,運用以往主要應用於建築物隔熱的氣凝膠材質,取代玻璃纖維做為供氣管路外層。

台積電節能團隊領先業界開發第一套「低耗能管路加熱系統」,今年 3 月於晶圓十五廠第 7 期優先試行,有效降低管路表面溫度、減少 25% 能耗,全面減少熱散逸及熱能耗損。

低耗能管路加熱系統除通過台積電廠務處與晶圓十五 A 廠的品質與節能驗證,也已獲得 SGS 第三方驗證機構針對耐熱溫度、延展性等安全認證。


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