〈台積社會責任〉台積電開發沸石濃縮雙轉輪系統技術 廢氣削減率達99.5%

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 攜手供應商，首創業界「沸石濃縮雙轉輪系統」技術，使揮發性有機氣體削減率達 99.5%，將成為未來新建廠區標準設備，截至今年已完成建置於晶圓十五 B 廠、晶圓十八 A 廠，預計明年第一季完成晶圓十八 B 廠建置。

台積電以「零排放」為目標，致力發展空氣汙染防制技術，除符合國內「半導體製造業空氣汙染管制及排放標準」及「固定汙染源空氣汙染物排放標準」，連續維持 0 件異常事件通報主管機關紀錄，也透過自主開發最佳可行技術及防制監測設備二大方針，主動降低環境衝擊。截至今年為止，揮發性有機氣體平均削減率連續第 6 年超過 95%。

針對揮發性有機氣體削減，台積電各廠使用沸石濃縮轉輪結合燃燒爐處理揮發性有機氣體，其去除效率可達 95% 至 97%，遠優於法令排放削減率應大於 90％的規範。

為進一步導入新技術優化防制設備效能，台積電廠務處攜手供應商，領先國內採用「沸石濃縮雙轉輪系統」技術，將原經過第一道轉輪吸附並燃燒後的高濃度製程廢氣，新增第二道轉輪濃縮流程後再送回第一道轉輪反覆處理，成功使削減率達 99.5%。今年平均削減率並因此有效提升至 98%，朝智能綠色生產環境目標穩健邁進。

台積電表示，沸石濃縮雙轉輪系統將為未來新建廠區標準設備，截至今年已完成建置於晶圓十五 B 廠、晶圓十八 A 廠，預計明年第一季完成晶圓十八 B 廠建置。

因應美國國家職業安全衛生組織針對工作環境中陶瓷纖維的暴露規範，台積電改採玻璃纖維基材於沸石濃縮雙轉輪系統，有效降低約 10% 轉輪壓損，節省 17.7% 耗電量，且由於玻璃纖維基材具有較低的熱容量，更可提升濃縮倍數自 15 至 20 倍以上。

此外，由於玻璃纖維材質基材吸附效率提升，使轉輪脫附揮發性有機物濃度增加 1%、燃燒爐熱值增加，可減少揮發性有機物處理設備運轉能源消耗；以晶圓十五廠第 7 期的沸石雙轉輪系統為例，每年預計將節能 48 萬度電，並減省 8660 立方公尺瓦斯用量，相當於 19 個家庭一年用量。