晶圓廠稼動率降 特殊氣體氖、氙、氪氣價格修正

隨著半導體大廠紛紛下調產能利用率，特殊氣體價格正在回歸至正常水位，氖氣價格已恢復到 2 年前水準，近期氙氣、氪氣價格也出現大幅修正，由於這些氣體都是半導體產業關鍵氣體，氣體價格回溫可望緩解半導體原料上漲壓力。

南韓關稅廳 13 日貿易統計顯示，氪氣在去年 5 月價格達到高峰，每公斤逾 1600 美元，較 2021 年初相比飆漲 5 倍多，不過，隨後進口價格持續走低，今年 1 月進口價每公斤已低於 100 美元。

氙氣也在去年 9 月創高，每公斤達 14000 美元，隨後價格驟跌今年 1 月進口價格已低於每公斤 10000 美元，但還是較 2021 年初 2000 美元水平高出 4-5 倍，與去年同期相比價格也上漲  82%。

氙氣、氪氣沸點都高於氧氣，因此處理需要經過更複雜高溫、超低溫的萃取過程，氪氣是半導體製程重要氣體，可用於化學氣相沉積 (CVD) 製程，而氙氣則是半導體製程成形後重要的蝕刻氣體，也被使用於晶片堆疊製程中，以及醫療麻醉劑等。

南韓媒體指出，隨著半導體市場景氣放緩，三星、美光、台積電等晶圓大廠紛紛下調稼動率，使稀有氣體使用量減少，加上先前供不應求狀況正在緩解，南韓、國際氣體廠紛紛在南韓建廠的消息，多少穩定市場價格。

不過，業內人士表示，由於半導體製程複雜，即使部分稀有氣體價格下跌，製造成本也不會大幅下降，但與去年相比，半導體廠商處境明顯好轉。