〈台積電ESG〉晶圓傳送盒清洗機台 達100%回收熱水再利用

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW)(TSM-US) 以創新技術打造「熱水回收循環系統」，將機台中未使用的熱水導回熱水器循環利用，成功達成晶圓傳送盒清洗機台未運作時熱水 100% 回收，今年通過驗證、已於第三季導入晶圓十二 B 廠，並列為未來新購機種標準設計。

熱水回收循環系統已列為台積電 12 吋晶圓廠區未來新購晶圓傳送盒清洗機台的標準配備，目標至 2030 年，可年省 140 萬公噸純水及 1.1 億度電。

台積電表示，面對日益嚴峻的極端氣候，公司積極創造更多節水省電機會點，去年針對晶圓傳送盒清洗機台研發漸進式開關水閥，藉由自動控制熱水輸出多寡，於機台未運作時減少 50% 供水量，達到年省 38 萬公噸純水與 1,533 萬度電。

為更優化熱水使用效率，智能工程中心、晶圓十二 B 廠與供應商持續深入分析機台能耗及運轉參數，進一步設計熱水封閉迴路，透過加裝泵浦與冷熱水自動控制切換閥門，在確保水溫穩定的前提下，利用泵浦將機台未運作時的熱水全部導回熱水器繼續使用，達到 100% 回收效益。

秉持機台節能最大化原則，台積電也持續評估改造晶圓傳送盒清洗機台腔體與噴嘴設計，以降低乾燥氣體使用量，同時開發腔體未運作期間的節能模式，預計明年第一季進行驗證，朝每台晶圓傳送盒清洗機台節能 30% 目標前進。