〈台積電又出包〉晶圓14B廠傳因光阻液供應商料源不合格 造成良率下滑

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 南科 Fab 14B 廠今 (28) 日傳出，晶圓生產製程中，採用到不合格光阻液，衝擊生產良率下滑，據悉，台積電此次的光阻液供應商有三家，包含日商信越、JSR 與陶氏化學，此次事件影響晶圓片數恐高達 9 萬片，但內部最快將在本周間進行測試，確認多少晶圓受影響。

台積電表示，該起事件應可控制在最低影響範圍內，本季財測目前不會改變。

台積電 Fab 14B 主要以 12 奈米製程為主，客戶包括聯發科 (2454-TW)、輝達 (NVDA-US) 與華為，據悉，此次事件發生時間在昨日下午，14B 廠在晶圓生產製程中，採用到不合格的光阻液，造成部分生產過程發生問題，部分晶圓與晶片都受到汙染。

據悉，台積電此次使用到的不合格光阻液供應商，市場傳出有三家供應商，包含日商信越、JSR 與陶氏化學，由於生產進程受影響、影響生產良率，台積電將針對損失金額向供應商進行求償，粗估不影響營運表現，但由於良率減少，台積電本季財測是否受影響，市場仍觀望看待。

根據台積電人士透露，14B 廠主要是 12、16 與 20 奈米製程，由於此次是生產流程發生問題，因此台積電將開始進行測試，確認哪些晶圓有問題，哪些仍可使用，市場傳此次影響金額恐上看 200 億元，但消息人士透露，此金額數值是將 9 萬片最大化計算，實際數字應未達此。