力晶:公告本公司取得美國專利局核發US 8390062專利
鉅亨網新聞中心 2013-06-28 17:16
第七條 第8款
1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:垂直頻道電晶體陣列及
其製造方法
2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:102/04/21
3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 268,112
4.其他應敘明事項:
一種垂直頻道電晶體陣列,包括多條埋入式位元線、多條位元線接觸窗
、多個埋入式字元線與漏電流隔離結構。多個半導體柱構成垂直頻道電晶
體的主動區。多條埋入式位元線平行設置於半導體基底中,在行方向延伸
。多條位元線接觸窗分別設置於埋入式位元線的一側。多個埋入式字元線,
平行設置於埋入式位元線上方,在列方向延伸,且隔著閘介電層而連接同
一列之半導體柱。漏電流隔離結構設置於埋入式位元線末端部分,以避免
相鄰位元線接觸窗之間產生漏電流。
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