〈德鑫聯盟大會〉馬斯克提TeraFab新點子 邱銘乾：真正瓶頸在EUV、不是蓋廠

馬斯克日前提出 TeraFab 超大型晶圓廠構想，並喊出要在晶圓廠抽雪茄、吃漢堡，市場關注其對晶圓廠的新構想是否影響台灣半導體生態系。家登 (3680-TW) 董事長邱銘乾指出，其概念可以理解，但若從半導體生產角度來看，先進製程擴產的真正瓶頸，並不在於無塵室、純水系統或廠房本身，而是 EUV 曝光機等關鍵製程設備。

邱銘乾指出，蓋廠房相對容易，但真正限制產能的是核心設備取得速度。以 EUV 曝光機為例，設備內部採用高度精密的光學系統，蔡司製造相關鏡頭的過程複雜且耗時，每年可供應的設備數量有限，並非增加土地或加快廠房施工就能解決。

他表示，即使 TeraFab 能大幅降低無塵室與廠務系統成本，若無法取得足夠的 EUV 曝光機，先進製程產能仍然無法順利開出。換言之，解決廠房問題，並不代表同時解決半導體產能問題。

邱銘乾進一步將廠房及無塵室視為半導體生產的「次系統」，EUV 曝光機則是決定產能的「主要系統」。若主要系統仍受供應限制，即使次系統能夠快速複製，整體生產效率仍會卡在核心設備。

他也指出，一台先進 EUV 曝光機的價格相當高昂，甚至可能接近一座廠房的建置成本。因此，對晶圓廠而言，最大的問題不是能否多蓋幾座廠，而是關鍵設備能否同步到位。

邱銘乾認為，若只著重降低無塵室或廠務建置成本，實際能節省的比重仍相對有限，並未觸及先進製程擴產最昂貴、也最具稀缺性的環節。

他直言，TeraFab 目前對外談論的部分構想，較著重建廠與廠務成本，可能低估半導體生產過程中，EUV 設備供應及安裝效率對產能形成的限制。

至於家登與 TeraFab 的合作進度，邱銘乾僅表示雙方「有接觸」，但目前仍屬初步聯繫。