全球三大廠比一比 ASML穩坐光刻機龍頭

ASML(艾司摩爾) 近日發布 2022 年度財報。報告顯示，ASML 在 2022 年銷售額達到 212 億歐元，與 2021 年相比增長了 13.8%，比較同樣是光刻機 (曝光機) 大廠的 Nikon、Canon，其獨霸全球的地位依然穩固。

全球光刻機出貨情況

據科技網站《半導體行業觀察》整理，2022 年，全球前三大 ASML、Nikon、Canon 的積體電路用光刻機出貨達超過 500 台，達到 551 台，較 2021 年的 478 台增加 73 台，漲幅為 15%。

從 EUV、ArFi、ArF 三個高端機型的出貨來看，2022 年共出貨 157 台，較 2021 年的 152 台增長 3%+。其中 ASML 出貨 149 台，較 2021 年增加 4 台，佔有 95% 的市場；Nikon 出貨 8 台，佔有 5% 的市場。雙方的市占率維持平衡。

EUV 方面還是 ASML 獨佔鰲頭，市占率 100%；ArFi 方面 ASML 市占率高達 95%+；ArF 方面 ASML 佔有 87%+ 的市場份額；KrF 方面 ASML 也是佔據 72%+ 的市場份額；在 i 線方面 ASML 也有 23%+ 的市場份額。

2022 年各季度出貨量分別為 95 台、139 台、144 台、173 台，相較 2021 年各季度，只有第一季出貨量有所下降，其他三個季度有所增長，且第三季、第四季連續創下出貨量的新高。

ASML 遙遙領先

2022 年 ASML 光刻機營收約 161 億美元，較 2021 年 131 億成長 23%。

2022 年 ASML 共出貨 345 台光刻機，較 2021 年 309 年增加 36 台，增長 12%。其中 EUV 光刻機出貨 40 台，較 2021 年減少 2 台；ArFi 光刻機出貨 81 台，和 2021 持平；ArF 光刻機出貨 28 台，較 2021 年增加 6 台；KrF 光刻機出貨 151 台，較 2021 年增加 20 台；i-line 光刻機出貨 45 台，和 2021 年增加 12 台。

2022 年 ASML 的 EUV 光刻機營收占光刻機整體收入的 44%，2022 年單台 EUV 平均售價超過 1.7 億歐元 (約 11 億元)，較 2021 年單台平均售價增長 15%。這主要是由於 2022 年公司主要是銷售 TWINSCAN NXE: 3600D，相較 TWINSCAN NXE: 3400C 價格更高。

從 2011 年出售第一台 EUV 機台以來，截止 2022 年第四季出貨達 183 台。2022 年 EUV 光刻機共加工晶圓超過 4000 萬片。

2022 年來自中國大陸的光刻機收入約 21.6 億歐元，相較 2021 年是 21.8 億歐元，但是占比 2022 年來自中國大陸的光刻機收入的占比比 2021 年減少 2 個百分點。

ASML 日前在 2022 年度財報中表示，2030 年之後，將有望實現 NA 高於 0.7(Hyper-NA) 的 EUV 光刻機，但一切都取決於成本。

ASML 正在繼續努力控制當前 0.33 NA EUV 以及 High-NA 和 Hyper-NA 的成本，以確保微縮的需求仍然強勁。

Canon 預計產能提升兩倍

2022 年，Canon 光刻機營收約為 20 億美元。

2022 年，Canon 的半導體用光刻機還是 i-line、KrF 兩類機台出貨，光刻機出貨量達 176 台，較 2021 年出貨增加 36 台，增幅 25%；其中 i-line 機台是出貨的主力，出貨 125 台。佳能表示，得益於半導體光刻機在電力及感測器等廣闊領域的應用持續堅挺，生產能力得到最大限度的提升，因此銷售台數同比實現上漲。

2022 年，Canon 面板（FPD）用光刻機出貨 51 台，較 2021 年出貨量減少 16 台。

Canon 表示 2023 年要新建光刻機工廠，產能要提升兩倍；同時押注 NIL 技術，儘快實現 5nm 精度。

Nikon 出貨減少

2022 年度，Nikon 光刻機業務營收約 15 億美元。

2022 年度，Nikon 積體電路用光刻機出貨 30 台，較 2021 年減少 5 台。其中 ArFi 光刻機出貨 4 台，和 2021 年持平；ArF 光刻機出貨 4 台，較 2021 年度增加 1 台；KrF 光刻機出貨 7 台，較 2021 年度增加 2 台；i-line 光刻機出貨 15 台，較 2021 年度減少 8 台。

2022 年度，Nikon 全新機台出貨 14 台，翻新機台出貨 16 台。

2022 年，Nikon 面板（FPD）用光刻機出貨 28 台，較 2021 年大減 40%。其中 10.5 代線用光刻機出貨 5 台。