應材l檢測系統 獲陸太陽能廠隆基訂單

半導體設備商應用材料(AMAT-US)宣佈，已接獲來自中國大陸西安隆基矽材料(簡稱隆基)(601012-CN)訂購Vericell太陽能矽晶圓檢測系統訂單，隆基做為全球單晶矽太陽能晶圓製造廠，將運用Vericell系統能力，以更節省成本的方式檢測與追蹤進出矽晶圓品質，提升高效太陽能矽晶圓生產的總體良率。

應材副總裁暨全球服務設備產品事業群總經理沃納．芬斯特布許(Werner Finsterbusch)表示，隆基採用極具競爭力的評估流程，選定應材的Vericell系統，進一步證明該設備的尖端檢測能力，Vericell機台提供技術與經濟優勢，繼續鞏固隆基的地位。

應材指出，Vericell系統多樣化整合檢測模組在生產中可自動評估每片矽晶圓，能在生產時發現並剔除有缺陷的矽晶圓，除缺陷偵測之外，機台還能測量及回報一系列參數，包括矽晶圓片的厚度、厚度變化、翹曲、線痕、邊緣缺口、污點、隱裂以及電阻率。

Vericell系統已在大規模量產，並證明進入矽晶圓的缺陷與最終晶圓片的破損具直接相關性，相較人工檢測，Vericell系統透過控制矽晶圓品質，盡可能降低破片的風險與成本，增加工廠更高效電池的產量，提高獲利能力。