離子植入機攻太陽能市場，應材看好2014會很忙

精實新聞 2013-09-30 記者 王彤勻 報導

20130930_27_0.jpg -->第28屆歐洲太陽能光電會議暨展覽會(EU PVSEC)今(30日)於法國巴黎揭開序幕，而國際半導體設備大廠應材(Applied Materials)也於會中宣布，推出新一代Solion XP離子植入系統。應材全球產品經理Wesley Skinner指出，離子植入機雖於半導體設備的使用早已行之有年，不過被用在太陽能則是很新的突破。而相較於應材推出Solion XP離子植入系統之前，每小時矽晶圓廠僅能產出約1100片的產能，如今應材的新一代離子植入機，一小時則能產出3000多片晶圓。此外，因離子植入的技術運用在太陽能電池生產上，具備簡化流程，以及提高良率、降低成本等優點，因此應材新一代Solion離子植入系統，可協助太陽能業者將太陽能電池的發電效率，一舉提升至22%的高檔水準。

關於全球太陽能產業展望，Wesley Skinner直言，雖有些大廠稼動率見到拉高，但整體產業狀況還是不算太好，估計2015年前，將很難看到太陽能產業大幅增加資本支出或者投資擴產。不過他強調，至少就2014年而言，太陽能廠商雖不會聚焦於產能的提升，卻會把重點轉向技術的突破，這就是應材離子植入系統的切入點，而他也指出，在這樣的趨勢下，2014年應材「會很忙」(It`s a busy year for us)。

Wesley Skinner進一步說明，根據過去幾年業界的經驗，每12個月，太陽能模組(面板)端就會增加不少的產能，而在Cell(太陽能電池)的發電效率上則會提升0.6%，這就像是太陽能界的「摩爾定律」。而產業為了每年都維持這種發電效率提升的步調，以往多在材料上下功夫，不過材料的改革已經到達極限。因此應材認為，未來採取其他的電池結構(比方MWT/IBC等結構)來提升Cell的發電效率才是王道，而將離子植入機導入太陽能電池的生產，就可讓Cell的發電效率大幅躍進，並發展出更多元的電池結構。

Wesley Skinner表示，電池製造商目前正積極從P型太陽能電池轉為生產N型太陽能電池，主要是這類電池可大幅提高電池發電效率、模組功率輸出和能源採集量，並讓整體每瓦成本更具競爭優勢。而應材新推的Solion XP所具備的內建圖形化功能，即可精密控制摻雜物接面的深度、劑量，以及硼跟磷的配量，促進高效率載子活化作用的發生，並降低N型基板上先進電池結構的整體熱積存，有利於電池整體發電效率的提升。

他指出，傳統的熱擴散製程(即是將磷原子在N型基板上做擴散) ，可能產生擴散濃度不易控制，以及熱擴散製程因是在高溫環境中進行，基板表面難免會產生一些必須去除的玻璃狀物質等問題。不過透過離子植入機，磷原子植入的劑量與深度都可精準控制，且P/N基板之間的「交界品質」(junction quality)也會更好。

Wesley Skinner表示，目前太陽能電池的單晶發電效率做到19~20%就是相當不錯的水準，不過運用應材的新一代Solion XP離子植入系統，Cell發電效率則可做到21~22%。他指出，應材曾與BOSCH合作，利用離子植入技術將採IBC結構的電池發電效率做到22%；而韓國三星採用應材的離子植入系統，也有效將電池的發電效率提高到22.4%。

Wesley Skinner指出，應材是於2011年推出Solion平台，並吸引許多太陽能大廠的關注，目前應材於太陽能離子植入機的全球市佔也高達85~90%，應材也將於本屆EU PVSEC上，發表新一代的Solion XP離子植入系統。據了解，應材的某位客戶也會在展覽上宣布，採用應材的離子植入系統來生產N型太陽能電池，且做出的高效產品，其模組輸出功率可達300W，相較於市面上模組平均輸出功率的250~260W高出許多。