Nova 為亞太地區主要鑄造廠的刻蝕部署整合度量

以色列雷霍沃特, 1月11日 /美通社-PR Newswire/ -- 半導體程序控制市場中卓越的獨立度量供應商及其整合度量解決方案的市場領導者 Nova Measuring Instruments Ltd. 今天宣佈，亞太地區主要鑄造廠已決定部署該公司的 NovaScan 整合度量 (IM) 解決方案以及 NovaMARS(R) 外形壓型軟體，以用於 45nm 門寬度的刻蝕高級程序控制。Nova 期望在2010年獲得這個特殊鑄造廠更多的設備訂單及安裝。

Nova 企業營銷部門負責人 Noam Shintel 表示：「鑄造廠要不斷地處理很多種產品，並且嚴格程序控制和減少過程變動性的需求正在不斷增長。我們領先的整合度量平臺能對刻蝕器進行快速而準確的閉環控制，為我們的客戶帶來更高的產量和提高的生產率。透過擴大產品陣容把我們的產品範圍拓展到更多的加工地區，這已成為我們策略的一部分，並且我們期待這種趨勢在未來持續下去。」

借助應用材料公司 (Applied Materials)、科林研發 (Lam Research)、荏原公司（Ebara Corporation）的化學機械拋光 (CMP) 和蝕刻 (Etch) 工具，NovaScan 整合度量平臺已可以使用。該平臺提供了一流的度量解決方案，利用拓展的紫外 (UV) 和紅外 (IR) 光譜範圍實現了極化的正入射分光散射測量。NovaScan 整合度量具有最高速（刀對刀）的匹配和最大的生產能力，它是一款即理想又划算的度量衡解決方案，滿足了 2D、3D、磨具膜厚度、光學 CD 和外形壓型軟體的絕大部分要求。

消息來源 Nova Measuring Instruments Ltd