中研院研究 成功降低晶圓製程不良率

晶圓是台灣很重要的產業之一，要如何降地晶圓製程的不良率，就成為很重要的一個課題。根據中央研究院利用巨量資料分析出一個統計模型，並且找出會出問題的機台，經過和「台積電」合作實際運作，成功將晶圓製程的不良率下降11%到14%。(余曉涵報導)

台灣的經濟依靠高科技產業，尤其是製造晶圓的部分，更是台灣很重要的產業之一，但是晶圓製造的過程非常複雜，要如何在大量的機器當中，找出有問題的機台並且降低不良率，就是很重要的課題之一。中央研究院科學研究所研究員銀慶剛所率領的研究團隊，利用巨量資料分析的方式，研究出一個統計模型。

銀慶剛表示研究團隊先假設可能問題機台是一個嫌犯，並把每個嫌犯的犯罪可能性進行排序，如果有超過300個嫌犯，再將10個嫌犯為一個單位進行篩選，找出最有可能的罪犯，也就是關鍵的問題機台。

銀慶剛指出，研究團隊和台積電合作，將模型顯示有可能有問題機台先停止生產，並測試產品的不良率，發現成功將不良率下降11%到14%，甚至不良率可以下降到3%以內。銀慶剛表示，研究成果也顯示統計模型的可靠性。