半導體製程

08-10台股新聞

晶圓廠赴美擴建，帶動高純化學品槽車需求：上品

隨著製程節點推進至 3 奈米以下，晶圓廠對化學品的純度與穩定性要求急遽升高，化學品槽車在供應鏈中已不再只是運輸工具，更成為影響晶片良率與製程穩定性的核心設備。〈製程技術升級，帶動化學品運輸設備需求重構〉3 奈米以下先進製程中，晶圓清洗與蝕刻等關鍵步驟需使用如硫酸、磷酸、過氧化氫、氫氟酸等高腐蝕性化學品，稍有金屬離子污染或壓力不穩，將直接衝擊製程良率。