極紫光

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中國EUV光源新樣機公開！ASML還能睡得安穩？

中國半導體設備業者朗道燧岩 (Langdao Silex) 在上海第 26 屆中國國際工業博覽會上，首次公開展示極紫外光 (EUV) 光源系統樣機。據現場工作人員介紹，該系統國產化率達 90%，可用於晶片曝光測試，但距離量產仍需 3 至 5 年。