埃米

09-13台股新聞

imec突破High-NA EUV極限 光阻材料將一路延續至埃米世代

比利時微電子研究中心(imec)宣布攜手ASML及材料供應商，在High-NA EUV微影技術再取得進展。將產業沿用多年的化學放大阻劑(CAR)，完成22奈米間距導線的單次圖形化，並驗證多種接近實際晶片設計的複雜結構，顯示成熟CAR光阻技術有望延伸至A14、A10等埃米世代，應用於部分關鍵金屬層與通孔層。

08-19台股新聞

台積電A16背面供電技術突破！埃米級競賽再進一步：速度增10%、功耗降20%

據悉，台積電(2330-TW) 已在埃米級半導體製程領域搶得先機。為解決傳統晶片正面供電與訊號線路爭奪有限布線空間所造成的瓶頸，該公司已經在A16這項2奈米以下的先進製程背面供電技術方面取得優勢。根據《ETNews》報導，業界消息人士18日透露，台積電已成功開發並驗證A16，成為業界首個導入「超級供電軌」（Super Power Rail，SPR）背面供電架構的埃米級CMOS平台。

04-14台股新聞

應材搶埃米製程商機 新一代邏輯晶片沉積系統已獲採用

應用材料 (AMAT-US) 近日推出兩款晶片製造系統，專為打造全球最先進邏輯晶片中的最微小特徵結構而設計，該技術透過原子級的精度控制材料沉積，協助晶片製造商打造更快速、節能的電晶體，目前皆已獲領先的邏輯晶片製造商採用，應用於 2 奈米及更先進的環繞式閘極製程節點。