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07-13A股港股

中國首台EUV曝光機原型機正式出光 斥資400億美元建構自主半導體鏈路

據《路透》與相關調查指出，位於深圳一座由中央科技委員會管理的保密設施內，首台全國產化的極紫外光曝光機 (EUV) 原型機已成功啟動，並穩定產生 13.5 奈米波長的極紫外光。報導稱，此進展意味著中國已在 EUV 技術鏈路上，從光源、光學系統到真空腔體實現初步貫通。