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快訊

三星電子公佈新一代光刻技術路線圖,將在1nm節點大規模生產中部署高NA EUV

BlockBeats 律動財經

BlockBeats 消息,8 月 11 日,三星電子技術專家 Park Chang-min 在 2026 年 NGL 會議上宣布,三星電子計劃在其 1 納米製程中引入光刻技術的一項重大創新,該製程最早可能在 2030 年進入量產。該公司打算在 1nm 節點大規模生產中部署高 NA EUV,這是一種下一代極紫外光刻技術,目前正在專注於開發商業化所需的技術。


此外,三星電子還在加強高 NA EUV 的開發,這是 EUV 技術的下一代。該公司將 1nm(或 A10)製程作為其在量產中全面部署的目標。「A」指的是埃(angstrom),1 埃等於 0.1nm。

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根據這一路線圖,三星電子預計將於 2030 年左右開始在量產中使用高 NA EUV。該公司已實現 2nm 製程的商業化,並計劃於 2029 年開始量產其 1.4nm SF1.4 製程。據報導,它正準備在 2030 年開始量產 SF1.4+(1.4nm 製程的增強版)以及其 1nm 製程。

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