〈台積社會責任〉建在地綠色供應鏈 光洋科成首家高階半導體製程靶材台廠

台積電打造在地綠色供應鏈。(圖:台積電提供)
台積電打造在地綠色供應鏈。(圖:台積電提供)

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 打造在地綠色供應鏈,與光洋科 (1785-TW) 合作,回收製程廢棄資源,再製成靶材,今年已成功導入先進製程量產產線,光洋科也成為首家供應高階半導體前段製程靶材的台廠。

台積電與光洋科合作透過回收製程廢棄資源、精煉為原物料,成功再製成符合品質標準的靶材,並正式導入量產產線,台積電每年也成功減少 1800 噸廢液,達成 120 顆殘靶材再生,實現廢棄物管理目標。

台積電表示,針對以往仰賴單一進口來源的靶材,除力行風險管理、確保營運持續不中斷,同時也由資材暨風險管理組織、晶圓十五 A 廠與品質暨可靠性組織組成專家團隊,與光洋科在晶圓 15A 廠進行合作,於研發測試產線進行靶材樣品測試,協助其提升靶材品質,推動硫酸銅廢液與殘靶材 2 項製程廢棄資源活化專案,開發利用再生資源為靶材原料的再製技術。

台積電指出,與光洋科共同回收製程廢棄資源,再製成靶材的技術,已於 2018 年導入成熟製程,今年則導入先進製程;除積極深化供應商綠色製造能力,盼能帶動國內半導體產業循環經濟發展,也積極活化製程所產出的廢棄資源,轉製成可直接提供晶圓製造或販售給其他工業使用的產品,去年台積電廢棄物回收率便達 96%。


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