Tegal 持續討論奈米層沉積專利權的策略選項

(TGAL) 3.99 : Tegal宣佈持續討論剩下奈米層沉積技術(NDT)專利權組合的策略方案選項，這些組合是NDT為半導體製程相關的智慧財產權。2011年12月30日Tegal宣佈已經出售30多項有關奈米層沉積的專利權。