滾珠螺桿

01-09台股新聞

晶圓廠拚良率、機器人拚落地，上銀集團(2049)搶攻高附加價值模組

2026年01月09日（優分析／產業數據中心報導）⸺ EFEM（Equipment Front End Module，設備前端模組）是晶圓製造設備中負責「晶圓進出機台」的核心系統，主要由 Load Port（載具接口）、Wafer Handling Robot（晶圓搬運機器人）、Aligner（對位機構）及相關感測與控制系統所組成。