SSC800

11-08A股

中國國產曝光機突破！上海微電子SSC800性能躋身產業第一梯隊

中國半導體設備自主化再有新進展。上海微電子裝備集團（SMEE）在第九屆中國國際進口博覽會（進博會）展示自主研發的新一代前段製程乾式掃描投影曝光機SSC800、SSB800，涵蓋KrF與I-line兩大技術路線。第九屆中國國際進口博覽會於11月5日至10日在上海舉行，SMEE此次在中國館展出SSC800、SSB800設備模型，透過透明剖面設計呈現設備內部光學系統及機電結構，展示中國前段製程曝光機自主化的階段性成果。