三福化顯影劑回收擴大版圖 純化產線明年Q3出貨晶圓大廠

三福化(圖:三福化官網)
三福化(圖:三福化官網)

三福化 (4755-TW) 顯影劑 (TMAH) 回收技術進度躍進,符合晶圓廠先進製程要求,公司表示,今年 TMAH 二廠純化產線預計將於明年第三季完工投產,屆時能開始將回收處理過後的先進製程級顯影劑再供貨給晶圓廠。

三福化近年重點切入半導體材料回收,TMAH 回收業務因應晶圓代工大廠去年積極擴廠,每座新廠都建置顯影劑回收系統。三福化的 TMAH 循環技術將顯影劑廢液,透過回收系統,經過電解、純化再製成半導體級顯影液回供給客戶,落實循環經濟。

三福化指出,TMAH 回收技術上已取得重大突破,目前回收液經由純化後純度已符合晶圓代工廠先進製程顯影劑要求,打進先進製程回收再利用市場。

TMAH 回收業務目前屬於三福化精密化學品事業部,年報資料顯示,晶圓代工大廠台積電 (2330-TW)、聯電(2303-TW)、世界先進(5347-TW),面板雙虎友達(2409-TW)、群創(3481-TW) 與晶電等,都是公司精密化學品客戶。

三福化表示,TMAH 二廠回收廠已投入營運,純化產線建置已於今年啟動,明年下半年可望投產,IC 等級回收液年產能可望達 5 萬噸。

另外,三福化說,南科電解二廠一期產線將於下半年試車,預計回收液產能約 5000 噸,年底產能可望滿載。

三福化中國電解廠已於去年底開始負責廣州面板廠四甲基氯化銨 (TMAC) 回收、再供貨服務,年產能達 230 萬噸,今年將開發武漢 OLED 面板廠,逐步拓展更多業務。


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